20 picometres!
電子顯微鏡利用電子束而非光線成像,能顯示出單一原子。截至2026年,最先進的電子顯微鏡能分辨出相距約20皮米的細節,大約是氫原子寬度的五分之一。一皮米是一公尺的兆分之一。
這個數字是解析度,不是物體的大小。顯微鏡的解析度,是指兩個點仍能被看成兩個分開的點、而不是模糊成一團時,兩點之間的最小距離。電子顯微鏡能顯示的最小物體是單一原子,而目前最先進的儀器,已能分辨出比一個原子寬度還小的細節間距。
用來聚焦電子束的磁透鏡曾因缺陷,讓最清晰的影像解析度只能達到約100皮米。透鏡校正器改變了這個情況。2008年,勞倫斯柏克萊國家實驗室發表了TEAM 0.5顯微鏡,設計目標是達到半埃、即50皮米的解析度。該團隊後來報告,成功分辨出相距47皮米的成對鍺原子。
一種名為電子疊層成像術的電腦運算方法,隨後將紀錄進一步推進。康乃爾大學的團隊在2018年達到39皮米,並於2021年達到約20皮米。2024年,中國清華大學的團隊以另一種解析度量測方式,報告出14皮米的細節。確切的紀錄,取決於解析度的量測方式。
傳統顯微鏡無法分辨遠小於其所用觀察媒介波長的細節。波長是指一個波峰到下一個波峰之間的距離。對一般光學顯微鏡而言,這個極限約為0.2微米,這是顯微鏡學家恩斯特·阿貝在1873年推算出來的。
電子也具有波動性,且波長遠比光短。許多這類顯微鏡所使用的高速電子,波長約為2皮米。理論上,這能讓顯微鏡分辨出遠比光學顯微鏡更細微的細節。但實際上,透鏡的缺陷讓電子顯微鏡長期無法達到這個極限,直到校正器與電腦運算方法問世,才逐漸縮小了這個差距。
電子疊層成像術並不只依賴透鏡。顯微鏡讓電子束以重疊的方式掃過樣本的各個位置,並記錄每個位置上電子的散射情形。接著電腦演算法會推算出,什麼形狀的樣本才會產生這些散射圖案,再據此重建出影像。
康乃爾大學在2021年拍攝的影像,將一顆晶體放大了1億倍。在這種解析度下,殘留的模糊主要來自原子本身,因為原子會因熱而不斷晃動。該團隊的負責人大衛·穆勒表示,這實際上已經是解析度的極限。